Laser Planar Interferometer (LPI-100), jonka reaaliaikainen dynaaminen mittausnopeus on jopa 15 kuvaa sekunnissa, pystyy havaitsemaan reaaliaikaisesti tasomaisten optisten elementtien pinnan muodon 100 mm:n aukolla. Mitatun elementin pinnan muotoinformaatiota kantava säde taivutetaan erityisesti koodatun hilan läpi, joka leikkaa aaltorintaman sivusuunnassa neljään osaan muodostaen yhteisreittileikkauksen kaksiulotteisen häiriökuvion, jossa on neljä aaltorintamaa. Demoduloimalla kaksiulotteinen häiriö saadaan elementin pintamuotoinformaatio.
Tuotteen nimi |
Tasomainen laserinterferometri |
Tarkastushalkaisija (mm) |
100*100 |
CCD pikseli |
2048*2048 |
Näytteenottopaikka |
512*512 |
Aallonpituus (nm) |
632.8 |
Dynaaminen alue (μm) |
100 |
Mittaustarkkuus PV-arvo |
±15 nm |
Tarkkuus RMS-arvo (λ) |
≤1/30 min |
RMS-mittauksen toistettavuus (λ) |
≤1/1000l |
Mittausresoluutio (nm) |
2 |
Reaaliaikainen näyttö Kuvataajuus (Hz) |
10 |
Anturin satunnainen sijoitus |
Kuvankäsittelypalvelin |
Varustettu käsittelyohjelmistolla |
"Four Wave Front shear Wave Front rekonstruktioohjelmisto" voi näyttää lähtöaaltorintaman reaaliajassa: PV-arvo, RMS-arvo, POWER-arvo |
Koneen paino (kg) |
50 |
◆Jopa 15 ruutua reaaliaikaista dynaamista mittausta
◆2nm RMS Korkea vaiheresoluutio
◆Erittäin korkea resoluutio 262144 vaihepistettä
◆Voi toteuttaa reaaliaikaisen dynaamisen tunnistuksen, voi saavuttaa dynaamisen 15 kuvaa sekunnissa
◆ Itsenäiset immateriaalioikeudet, kustannustehokas, yksinkertainen säätö, kompakti rakenne
◆Yleisen kanavan itsehäiriön periaatteen perusteella laite ei tarvitse vertailupeiliä, ja sillä on vahva vastus Häiriökyky, tavallisessa tehdasympäristössä voi myös saavuttaa tasaisen pinnan tarkan havaitsemisen
Tämä BOJIONGLaser Planar Interferometer on varustettu neljän aallon interferometrisilla FIS4-antureilla standardin tasopeilin muodon havaitsemiseksi, ja prosessointiohjelmisto tulostaa testatun komponentin pinnan PV-arvon, RMS-arvon ja POWER-arvon.
Normaali tasaisen peilipinnan tarkastustulokset |
Optisen elementin häiriöaaltorintama |
Safiirikomponenttien lähetyksen aaltorintaman tunnistus |
BOJIONG Laser Planar Interferometrin toiminnalliset moduulit voidaan jakaa valaistuksen valonlähdemoduuliin, toissijaiseen säteen laajennusmoduuliin, kantoaaltomoduuliin, pistetarkennusmoduuliin, jotka auttavat näytteen asennon säätämisessä, sekä interferometriseen anturimoduuliin näytteen pinnan muodon havaitsemiseen. .
Järjestelmän valonlähdemoduuli käyttää kaasuhelium-neonlaseria, jonka keskusaallonpituus on 632,8 nm.
Toissijainen säteen laajennusmoduuli laajentaa säteen koon 100 mm:iin, mikä täyttää suuren halkaisijan havaitsemisen vaatimukset.
Lavaosaan sijoitetaan testattavia tasomaisia optisia komponentteja, kuten litteitä kiteitä, kertaheittokiekkoja, ikkunalastuja, tasoheijastimia jne. Lataustaso on varustettu X- ja Y-suuntaan liikkuvilla käsipyörillä näytteen liikkeen ohjaamiseksi. vaiheessa niin, että laitteen säteilevä valopiste peittää kokonaan testinäytteen pinnan. Samanaikaisesti lavalle on asennettu myös kaksi nuppia, joilla voidaan säätää näytekallistusasentoa. Säätämällä näitä nuppeja testitaso tehdään kohtisuoraan optiseen akseliin nähden.
Kuvausjärjestelmässä on kaksoiskamerajärjestelmä. Yksi niistä muodostaa optisen kuvantamiskameran avulla pistetarkennusmoduulin, joka auttaa näyteasennon säädössä. Tarkkailemalla näytteen paluupisteen sijaintia reaaliajassa, näytteen asentoa säädetään mittaustarkkuuden varmistamiseksi. Toinen polku on varustettu FIS4 neljän aallon interferometrisella anturilla, joka muodostaa interferometrisen anturimoduulin näytteen pinnan muodon havaitsemiseen. Tallentamalla yhteisen polun interferometriset reunat voidaan saavuttaa reaaliaikainen kolmiulotteisen tiedon palaute testinäytteen pinnalle. Kaksoiskamerajärjestelmä voi toimia samanaikaisesti.
◆Varustettu "Laser Planar Interferometer" -ohjelmistolla, se voi näyttää ja tulostaa reaaliaikaisia 3D-kuvia mitatusta optisen elementin tasosta, tuottaa mitatun pinnan PV-arvoja, RMS-arvoja ja POWER-arvoja.
◆Samalla ohjelmisto tukee mittaustulosten raakadatan vientiä, kvantitatiivisen havainnointidatan tuen tarjoamista erilaisille tutkimuksille ja helpottaa käyttäjien tietojen analysointia ja tutkimusta tulevaisuudessa.
Osoite
No. 578 Yingkou Road, Yangpu District, Shanghai, Kiina
Puh
Sähköposti